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用途:
專為微電子行業量身定做,適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產工藝檢查;可以方便的快移和精確的位移檢查;也可以適用其它需較大面積標本的工藝檢查。
性能特點:
1、?配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片),視場大而清晰。
2、配置大移動范圍的載物臺,能快速和慢速移動。
3、粗微動同軸調焦機構,粗動松緊可調,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm。
4、6V?20W鹵素燈,亮度可調。
5、三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察,可進行100%透光攝影。
主要技術參數:
1、三目鏡筒:傾斜30?°,瞳距55mm-75mm,視度±5° ? ? ? ? ? ? ? ?
2、目鏡:WF10X/18mm
3、長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL?5X/0.12?、PL?L10X/0.25?、PL?L20X/0.40?、PL?L40X/0.60?、PL?L80X/0.8
4、總放大倍數:50X-800X
5、載物臺:尺寸:?280mm×270mm,移動范圍:?204mm×204mm
6、調焦:粗微動同軸?升降范圍25mm??微動格值0.002mm?
7、光?源:柯勒照明?濾色片座?可調鹵素燈6V20W
8、正交偏光裝置
選配件:
1、目鏡:WF16X/11mm,WF20X/9mm,10X帶尺可調目鏡
2、長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL?L?50X/0.70、?PL?L?60X/0.75?(彈簧)、?PL?L?100X/0.85?(彈簧)?,
? ? 平場消色差物鏡(無蓋玻片):?PL?100X/1.25??(彈簧,油)?