景通儀器廠溫馨提示：
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產品概述
研究級12寸大平臺半導體檢查顯微鏡CM120BD廣泛應用于芯片/晶圓/LCD，粒子爆破檢查等行業使用。采用半復消技術，集明場，暗場及偏光等多種照明方式，任何觀察都能呈現清晰銳利的顯微圖像，其微分干涉效果可與進口品牌相媲美。用戶可根據實際應用進行功能選擇，是工業檢測的有效工具。特別是針對線路板切片測量，晶圓檢測，金相材料，高分子材料等尺寸較大的樣器進行分析檢測，本機配備了偏振系統可做偏光檢測，在半導體和PCB檢測中，可消除雜光，細節更加清晰。同時可以選配DIC干涉附件插入DlC棱鏡，可進行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術可以使物體表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果，大幅提高圖像對比度，特別適合觀察導電粒子。
性能特點
1、采用明暗場半復消物鏡，成像清晰。
2、配置12寸大平臺，帶快速移動裝置。
3、配置有偏光裝置，適合觀察高反光材料的表面；
顯微鏡參數
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序號 |
名稱 |
技術參數 |
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1 |
平場目鏡 |
正像大場高眼點目鏡PL10X/25mm |
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2 |
物鏡 |
無限遠長工作距明場半復消色差金相物鏡2.5X NA0.08 WD9.2 （選購） 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡5X NA0.15 WD15 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.4 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡20X NA0.40 WD11.9 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0（選購） |
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3 |
光學放大倍數 |
50X-500X（選購100倍物鏡后放大倍數25-1000X） |
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4 |
數碼放大倍數 |
75-3000X(搭配1200萬相機及100倍物鏡，顯示器22英寸情況下) |
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5 |
觀察頭 |
鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0 |
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6 |
轉換器 |
5孔明暗場物鏡轉換器（帶DIC插槽）. |
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7 |
調焦機構 |
反射用機架, 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。 |
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8 |
載物臺 |
12英寸載物臺，平臺面積?760*430mm，玻璃臺面310*418mm，移動行程：300mmX300mm機械平臺，X、Y方向同軸調節；含快速移動裝置 |
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9 |
晶圓轉臺 |
12寸通用晶圓轉臺（選購） |
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10 |
偏光組件 |
起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板 |
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11 |
反射照明系統 |
明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，10W可調LED燈室，透、反射通用，預定中心 |
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13 |
聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） |
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14 |
攝像接口 |
0.65倍專用攝像接口 |
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15 |
干涉組件 |
諾曼爾斯基微分干涉片（選購） |
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16 |
高清1200萬顯微相機 或2000萬像素或自動對焦相機（選購） |
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17 |
圖像處理軟件 |
拍照，錄像，測量，實時圖像拼接，景深融合等（選購） |
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18 |
標尺 |
高精度型測微尺，格值0.01m 總長1mm（選購） |