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一、用途
TMG-600明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數碼攝像頭.?本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔”?的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.?
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括:?顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象,使磨片不合格.?是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器之一.
儀器采用優良的無限遠光學系統與模塊化的功能設計理念,可以方便升級系統,實現偏光觀察、暗場觀察等功能。緊湊穩定的高剛性主體,充分體現了顯微鏡操作的防振要求。符合人機工程學要求的理想設計,使操作更方便舒適,空間更廣闊。適用于金相組織及表面形態的顯微觀察,是金屬學、礦物學、精密工程學研究的理想儀器。適合電子、冶金、化工和儀器儀表行業用于觀察透明、半透明或不透明的物資,如金屬陶瓷、集成塊、印刷電路板、液晶板、薄膜、纖維、鍍涂層以及其它非金屬材料,也適合醫藥、農林、公安、學校、科研部門作觀察分析用。
二、標準配置
TMG-600技術規格 |
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目鏡 |
大視野?WF10X(視場數Φ22mm) |
? 無限遠平場 消色差明暗場物鏡 |
PL?L5X/0.12??工作距離:9.7?mm |
PL?L10X/0.25??工作距離:9.3?mm |
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PL?L20X/0.40??工作距離:7.2?mm |
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PL?L40X/0.60??工作距離:3.0?mm |
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PL?L80X/0.70??工作距離:2.5?mm |
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目鏡筒 |
30?傾斜,瞳距調節范圍53~75mm.? |
調焦機構 |
粗微動同軸調焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm. |
轉換器 |
五孔(內向式滾珠內定位)? |
載物臺 |
雙層機械移動式載物臺,?外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm |
? 照明系統 |
12V50W鹵素燈,亮度可調 |
配置黃、藍、綠濾色片與磨砂玻璃片 |
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內置視場光欄、孔徑光欄、濾色片轉換裝置、推拉式檢偏器與起偏器 |
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? ? 透射照明系統 |
阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降 |
集光鏡中內置視場光欄 |
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配置藍濾色片與磨砂玻璃片 |
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12V30W鹵素燈,亮度可調 |
三、選購件
??目鏡 |
分劃目鏡10X(Φ22mm) |
明暗場物鏡 ? ? |
?50X、80X、100X |
CCD接頭 |
0.5X、1X、0.5X帶分劃尺 |
攝像儀 |
USB輸出:130/300/500/1000萬像素 |
數碼相機接頭 |
CANON(EF)?NIKON(F) |
分析軟件:
?2.金相組織圖譜評級分析軟件
四、系統組成
硅片檢測顯微鏡(TMG-600C):?1.顯微鏡?2.適配鏡?3、500萬高像素攝像頭?4、計算機(選配)
五、總放大參考倍數
電腦型硅片檢測顯微鏡(TMG-600C):50--4000倍?(17寸顯示器為例)?