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一、用途:?
TMG-300透反射式硅片檢測顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察。它能產生高清晰的圖像,立體感較強,成像較清晰和寬闊,又具有長工作距離,并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數,?配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔”?的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務.是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括:?顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象,使磨片不合格.?是太陽能電池硅片生產企業進行質量控制Zui普通的儀器.
二、技術參數???
1.?目??鏡
類?型 |
放大倍數 |
視場(mm) |
大視野目鏡 |
10X |
Φ16 |
2.?物??鏡
類?別 |
放大倍數 |
數值孔徑(NA) |
工作距離(mm) |
平場消色差物鏡(無蓋玻片) |
5X |
0.12 |
18.3 |
10X |
0.25 |
8.9 |
|
40X |
0.60 |
3.7 |
|
60X |
0.85 |
0.26 |
3.光學放大倍數:50X?100X??400X?600X???系統參考放大倍數:50X-4000X
4.載物臺:尺寸?185mm*140mm????移動范圍?75mm*50mm
5.調焦系統:帶限位和調節松緊裝置的同軸粗微動???微動格值?0.002mm
6.濾色片組:轉盤式,黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
8.照明系統:6V/20W鹵素燈,亮度可調;220V(50Hz)
9.防霉:特有的防霉系統
三、系統組成
電腦型硅片檢測顯微鏡(TMG-300C):?1、顯微微?2、適配鏡?3、500萬高像素攝像頭?4、計算機(選配)
四、總放大參考倍數
????電腦型硅片檢測顯微鏡(TMG-300D):50--40000倍?(17寸顯示器為例)???
五、選購件???
1.二維測量軟件TM-4000C???2.目鏡:?20X?10X(帶刻度)??3.物鏡:20X??80X
轉載自: TMG-300透反射式硅片檢測顯微鏡 http://www.jinxiangxianweijing.com/product/metallurgical/1456/